Mask Aligner SUSS MicroTec MA6 - UV-Lithografiesystem für 1 bis 4 Zoll Wafer
Baujahr: 2001
S/N: 605
Ausstattung:
UV-Belichtung bei 365 nm,
Rückseitenbeleuchtungseinheit mit NIR-Kamera,
Wafer Chucks (Durchlicht), Maskenhalter,
Zubehör:
Objektiv LCPLAN FL 20X/0.40,
Objektiv LMPLFLN 20x/0,40,
Objektiv 11,25x0,16 (Separation),
Optometer ohne Sensor mit Koffer,
Maskenhalter MA6/BA6/BL/Cont/M-3,
Maskenhalter MA6/BA6/BL/Prox/Cont,Sola-Check Zubehör,
Chuck MA6/BA6/VAC/TEFFLON/W-100/S.
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